圖文詳情
本底真空度優(yōu)于10-9 Torr;
最大3英寸基片;
基片臺(tái)功能:加熱800C,旋轉(zhuǎn),偏壓;
2寸靶槍最多可放置4支;
靶槍可傾斜,升降,可升級(jí)強(qiáng)磁靶頭;
可選配快速進(jìn)樣室,進(jìn)樣室可清洗基片;
可配備離子束輔助沉積;
可配備多路工藝氣路;
自動(dòng)壓力控制系統(tǒng)。
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